離子源燈絲也就是用于離子注入機(jī)的鎢絲。

離子注入機(jī)是VLSI制造工藝的關(guān)鍵設(shè)備，其運(yùn)行情況直接影響到IC工藝線的效率。離子注入機(jī)的故障率較高，且大部分集中在離子源系統(tǒng)。離子源弧室內(nèi)燈絲絕緣子在饋入工藝氣體電離后的等離子體、聚合物及濺射產(chǎn)物等環(huán)境中，其表面容易沉積一層電離產(chǎn)物和濺射金屬粒子混合覆蓋物，若其結(jié)構(gòu)不合理，在較短的時(shí)間內(nèi)，就會(huì)降低陽(yáng)極電極間的絕緣性，乃至短路。拆修后，燈絲基本上報(bào)廢，使用率低，致使整臺(tái)設(shè)備常常處于維修狀態(tài)。所以，離子源的絕緣對(duì)注入機(jī)相當(dāng)重要。離子源燈絲圖片
離子源作為注入機(jī)的束流源，其工作的穩(wěn)定性在很大程度上決定著引出離子束流的品質(zhì)。通過合理設(shè)計(jì)離子源內(nèi)絕緣子的結(jié)構(gòu)，提高了防濺射粒子沉積物沾污的能力。陽(yáng)極電源和燈絲電源的工作效率隨工藝時(shí)間的增加而降低的情況得到了改善。增強(qiáng)了離子源的電離穩(wěn)定性，系統(tǒng)的重復(fù)性較好，維修次數(shù)也明顯減少。