高純?nèi)趸u的化學(xué)式為WO3， 純度為4N或5N，具有對(duì)電子遷移的高電導(dǎo)、高溫穩(wěn)定性以及能形成穩(wěn)定的硅化物，在電子工業(yè)中以薄膜形式用作柵極、連接和障礙金屬，也用作半導(dǎo)體的配線(xiàn)用材。
高純?nèi)趸u的化學(xué)式為WO3， 純度為4N或5N，具有對(duì)電子遷移的高電導(dǎo)、高溫穩(wěn)定性以及能形成穩(wěn)定的硅化物，在電子工業(yè)中以薄膜形式用作柵極、連接和障礙金屬，也用作半導(dǎo)體的配線(xiàn)用材。
